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國產(chǎn)連續(xù)式等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的用途?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2022-07-27 13:18【
文章導(dǎo)讀:半導(dǎo)體封裝行業(yè)的連續(xù)式等離子清洗機(jī),國內(nèi)常見的是低壓真空等離子清洗機(jī),常壓大氣等離子清洗機(jī)很少有。今天我們聊到的對象就是國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī),看看在半導(dǎo)體行業(yè)有哪些用途。
你知道什么是連續(xù)式等離子清洗機(jī)嗎?剛開始聽到這個(gè)稱謂的時(shí)候,我們也有點(diǎn)懵,結(jié)果經(jīng)過確認(rèn),其實(shí)就是在線式等離子清洗機(jī),意思是作為流水線的一部分可以連續(xù)做等離子清洗的設(shè)備。半導(dǎo)體封裝行業(yè)的連續(xù)式等離子清洗機(jī),國內(nèi)常見的是低壓真空等離子清洗機(jī),常壓大氣等離子清洗機(jī)很少有。今天我們聊到的對象就是國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī),看看在半導(dǎo)體行業(yè)有哪些用途。
等離子清洗機(jī)
國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī),主要是由上下料自動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、氣路控制和真空等離子反應(yīng)腔體組成。基本工作原理是,把要處理的產(chǎn)品通過上料裝置傳送到真空反應(yīng)腔體里面,抽真空到一定數(shù)值放電,按預(yù)設(shè)時(shí)間做等離子表面處理,然后恢復(fù)壓力值到一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,下料裝置把產(chǎn)品推送到制定的位置。整個(gè)流程大約10多秒到幾分鐘不等,不同工藝、不同廠家的效率會有所區(qū)別。
等離子清洗機(jī)
國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)的類型有很多種,主要是從放電形式和上下料自動(dòng)動(dòng)作來分的。按照放電形式,可分為PE模式和RIE模式,這是與功率電極的連接、電極結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品放置相關(guān)的;按照上下料的方式,有平臺交互式、抽屜式和一進(jìn)一出式。
等離子清洗機(jī)
國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的用途,比較常見的有3個(gè)領(lǐng)域。
1 各種金屬材質(zhì)的引線框架的等離子清洗
需要做等離子清洗機(jī)的引線框架的金屬材質(zhì)包括銅支架、鐵-鎳合金等,焊盤鍍層一般是銀。去除有機(jī)物和微弱的氧化層,對焊線和封塑都會有幫助。
2 各種非金屬載板的等離子清洗
比較典型的是IC基板和陶瓷基板,甚至?xí)胁AЩ宓?,對于焊盤密集的鍍層面等離子清洗可以提高良率和散熱效果。
3 晶圓表面的等離子清洗
晶圓表面的等離子清洗,主要目的是去除光刻膠殘余物,對于國產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)設(shè)備的穩(wěn)定性、均勻性、一致性等無疑提出更高的要求。
等離子清洗機(jī)
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    ‌高效徹底‌:能夠深入微納米級孔隙中,徹底清除難以觸及的污染物。

    ‌環(huán)保節(jié)能‌:無需使用化學(xué)溶劑,減少廢水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會對材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

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