半導體究竟為何需要使用到連續(xù)式等離子清洗機？
文章導讀：有那么一種高新技術(shù)設備叫做連續(xù)式等離子清洗機，它在半導體封裝行業(yè)可謂是神兵利器，能夠為半導體加工提供極大的便捷。雖然這個設備的名字聽起來似乎有些拗口，但同時它還有著另外一個名字，就是在線式等離子清洗機，其作用是可以起到在流水線上連續(xù)進行等離子處理的作用。
有那么一種高新技術(shù)設備叫做連續(xù)式等離子清洗機，它在半導體封裝行業(yè)可謂是神兵利器，能夠為半導體加工提供極大的便捷。雖然這個設備的名字聽起來似乎有些拗口，但同時它還有著另外一個名字，就是在線式等離子清洗機，其作用是可以起到在流水線上連續(xù)進行等離子處理的作用。
今天我們要說到的就是這個連續(xù)式等離子清洗機，看看它為何會應用到半導體行業(yè)當中？
連續(xù)式等離子清洗機的類型其實很多，主要是以放電形式和上下料自動動作來區(qū)分的。按照放電形式，可分為PE模式和RIE模式，這是與功率電極的連接、電極結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品放置相關(guān)的；按照上下料的方式，有平臺交互式、抽屜式和一進一出式。
先就設備本身而言，連續(xù)式等離子清洗機它的主要組成部分有：上下料自動裝置、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、氣路控制和真空等離子反應腔體。
它正式開始運轉(zhuǎn)時，其基本流程是：
1.產(chǎn)品傳送到真空反應腔體內(nèi)；
2.真空泵將腔體內(nèi)的環(huán)境抽到接近真空狀態(tài)；
3.輸入反應需要的氣體；
4.進行放電，產(chǎn)生等離子；
5.等離子轟擊產(chǎn)品表面，完成處理。
當產(chǎn)品的處理完成之后，腔體內(nèi)會還原到標準的大氣壓環(huán)境。而下料裝置會把產(chǎn)品輸送到指定位置。
這個流程大約在10到600秒之間不等，這主要取決于不同的工藝和處理的產(chǎn)品等方面。
正是因為半導體行業(yè)的高要求，而連續(xù)性等離子清洗機又能很好的符合這一要求，才體現(xiàn)出來連續(xù)性等離子清洗機在半導體行業(yè)的重要性。
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連續(xù)式等離子清洗機的類型其實很多，主要是以放電形式和上下料自動動作來區(qū)分的。按照放電形式，可分為PE模式和RIE模式，這是與功率電極的連接、電極結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品放置相關(guān)的；按照上下料的方式，有平臺交互式、抽屜式和一進一出式。
先就設備本身而言，連續(xù)式等離子清洗機它的主要組成部分有：上下料自動裝置、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、氣路控制和真空等離子反應腔體。
1.產(chǎn)品傳送到真空反應腔體內(nèi)；
2.真空泵將腔體內(nèi)的環(huán)境抽到接近真空狀態(tài)；
3.輸入反應需要的氣體；
4.進行放電，產(chǎn)生等離子；
5.等離子轟擊產(chǎn)品表面，完成處理。
當產(chǎn)品的處理完成之后，腔體內(nèi)會還原到標準的大氣壓環(huán)境。而下料裝置會把產(chǎn)品輸送到指定位置。
這個流程大約在10到600秒之間不等，這主要取決于不同的工藝和處理的產(chǎn)品等方面。
正是因為半導體行業(yè)的高要求，而連續(xù)性等離子清洗機又能很好的符合這一要求，才體現(xiàn)出來連續(xù)性等離子清洗機在半導體行業(yè)的重要性。
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