等離子清洗機的等離子體物理反應主要有哪些?
文章導讀:等離子清洗機利用等離子體與材料表面發(fā)生物理或化學反應來提高材料的表面性能,解決材料清洗難,粘接難與印刷難的問題。那么,等離子體物理反應主要有哪些?和普樂斯小伙伴一起來看看。
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1、吸附與解吸
吸附和解吸附對于等離子過程是非常重要的,在很多情況下,它們中的一個或者另一個往往是表面過程的決定因素。吸附源于入射分子與表面間的吸引力。吸附分為兩種:物理吸附是源于分子與表面的弱相互作用,它是放熱的,物理吸附的分子與表面的結(jié)合能非常弱,吸附后它們可以迅速地從表面進行擴散;當吸附原子或分子與表面原子形成化學鍵以后,便構(gòu)成了化學吸附,此過程為強放熱過程。
在等離子體和固體材料表面接觸的界面上,電子、離子、光子及中性粒子將能量傳遞給被吸附在固體材料表面的原子或分子,使這些原子或分子克服吸附力(范德瓦爾斯力或化學鍵力)而解吸離開固體表面,,因此有離子解吸、電子解吸、中性粒子解吸和光解吸,除外還有非等離子體的熱解吸、聲解吸(超聲)。

2、濺射
濺射的物理機理是動量的轉(zhuǎn)移過程,當高能離子或中性粒子(能量大于幾個電子伏特eV)和固體材料表面作用時,它們穿過固體材料表面和固體材料內(nèi)部的晶格原子產(chǎn)生碰撞級聯(lián),把能量傳遞給固體材料中的原子或分子,使固體材料內(nèi)的原子或分子獲得高于結(jié)合能的動能,從固體材料表面濺射出來,,使雜質(zhì)進人到等離子體中,濺射的產(chǎn)額與入射粒子種類、能量及靶材料種類有關(guān)。
如果入射粒子是離子,則一般來說濺射產(chǎn)額隨離子能量增高而直線上升,后逐漸緩慢達到極大值.。有些濺射出來的粒子在等離子體中經(jīng)過多次碰撞, 又返回到固體材料表面,導致進一步的濺射,稱自濺射過程,這一過程中雜質(zhì)具有更大的質(zhì)量,其產(chǎn)額有時比原來的濺射更高。
3、注入
具有一定能量的離子或中性粒子,轟擊固體材料表面,打入固體材料內(nèi)部與固體材料內(nèi)的原子或分子結(jié)合,引起固體結(jié)構(gòu)的變化,增加材料表面的分子量,也可使晶格損傷,,造成缺陷或非晶化等,如利用等離子體使離子注入金屬表面,提高材料的硬度、耐磨、耐腐蝕等性能.。離子注入的特點是注人能量和劑量可控, 以期取得表面改性的最佳效果。
4、刻蝕
等離子體中粒子與表面原子或分子結(jié)合,生成揮發(fā)性的產(chǎn)物,從表面揮發(fā)掉,引起等離子體在固體表面的刻蝕,這個過程可以具有化學選擇性,即只從表面去除一種材料而不影響其他的材料;也可以是各項異性的,去除溝槽底部的材料而不影響側(cè)壁上同樣的材料。
5、復合
在三體碰撞中,正負帶電粒子碰撞復合,第三體便是固體壁(或固體表面),固體壁加速了復合過程。
6、激發(fā)和電離
等離子體和固體表面相互作用時同樣存在激發(fā)和電離過程,尤其是在固體表面,被束縛在原子或分子的量子化的能級上的電子,受到光子或入射電子的轟擊后。會發(fā)射光電子,發(fā)射出的光電子的內(nèi)能隨對應的能級不同而形成光電子譜。
等離子清洗機利用等離子體對材料表面進行改性,主要是利用等離子體與材料表面發(fā)生的物理與化學反應來對材料表面進行改性,以加強表面性能。今天,我們主要給大家講述的是等離子體與材料表面發(fā)生的物理性能,下一章節(jié),我們將繼續(xù)給大家講述化學反應具有有哪些!
普樂斯電子12年專注研制等離子清洗機,等離子體清洗機,等離子清洗設(shè)備,常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設(shè)備,大氣低溫等離子體表面處理系統(tǒng),大氣常壓收放卷等離子表面設(shè)備處理,已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認證,為電子、半導體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案,是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009,普樂斯隨時恭候您的來電!
1、吸附與解吸
吸附和解吸附對于等離子過程是非常重要的,在很多情況下,它們中的一個或者另一個往往是表面過程的決定因素。吸附源于入射分子與表面間的吸引力。吸附分為兩種:物理吸附是源于分子與表面的弱相互作用,它是放熱的,物理吸附的分子與表面的結(jié)合能非常弱,吸附后它們可以迅速地從表面進行擴散;當吸附原子或分子與表面原子形成化學鍵以后,便構(gòu)成了化學吸附,此過程為強放熱過程。
在等離子體和固體材料表面接觸的界面上,電子、離子、光子及中性粒子將能量傳遞給被吸附在固體材料表面的原子或分子,使這些原子或分子克服吸附力(范德瓦爾斯力或化學鍵力)而解吸離開固體表面,,因此有離子解吸、電子解吸、中性粒子解吸和光解吸,除外還有非等離子體的熱解吸、聲解吸(超聲)。

2、濺射
濺射的物理機理是動量的轉(zhuǎn)移過程,當高能離子或中性粒子(能量大于幾個電子伏特eV)和固體材料表面作用時,它們穿過固體材料表面和固體材料內(nèi)部的晶格原子產(chǎn)生碰撞級聯(lián),把能量傳遞給固體材料中的原子或分子,使固體材料內(nèi)的原子或分子獲得高于結(jié)合能的動能,從固體材料表面濺射出來,,使雜質(zhì)進人到等離子體中,濺射的產(chǎn)額與入射粒子種類、能量及靶材料種類有關(guān)。
如果入射粒子是離子,則一般來說濺射產(chǎn)額隨離子能量增高而直線上升,后逐漸緩慢達到極大值.。有些濺射出來的粒子在等離子體中經(jīng)過多次碰撞, 又返回到固體材料表面,導致進一步的濺射,稱自濺射過程,這一過程中雜質(zhì)具有更大的質(zhì)量,其產(chǎn)額有時比原來的濺射更高。
3、注入
具有一定能量的離子或中性粒子,轟擊固體材料表面,打入固體材料內(nèi)部與固體材料內(nèi)的原子或分子結(jié)合,引起固體結(jié)構(gòu)的變化,增加材料表面的分子量,也可使晶格損傷,,造成缺陷或非晶化等,如利用等離子體使離子注入金屬表面,提高材料的硬度、耐磨、耐腐蝕等性能.。離子注入的特點是注人能量和劑量可控, 以期取得表面改性的最佳效果。
4、刻蝕
等離子體中粒子與表面原子或分子結(jié)合,生成揮發(fā)性的產(chǎn)物,從表面揮發(fā)掉,引起等離子體在固體表面的刻蝕,這個過程可以具有化學選擇性,即只從表面去除一種材料而不影響其他的材料;也可以是各項異性的,去除溝槽底部的材料而不影響側(cè)壁上同樣的材料。
5、復合
在三體碰撞中,正負帶電粒子碰撞復合,第三體便是固體壁(或固體表面),固體壁加速了復合過程。
6、激發(fā)和電離
等離子體和固體表面相互作用時同樣存在激發(fā)和電離過程,尤其是在固體表面,被束縛在原子或分子的量子化的能級上的電子,受到光子或入射電子的轟擊后。會發(fā)射光電子,發(fā)射出的光電子的內(nèi)能隨對應的能級不同而形成光電子譜。
等離子清洗機利用等離子體對材料表面進行改性,主要是利用等離子體與材料表面發(fā)生的物理與化學反應來對材料表面進行改性,以加強表面性能。今天,我們主要給大家講述的是等離子體與材料表面發(fā)生的物理性能,下一章節(jié),我們將繼續(xù)給大家講述化學反應具有有哪些!
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