真空等離子清洗機(jī)品牌廠商選擇流量控制器的經(jīng)驗(yàn)之談
文章導(dǎo)讀:工藝氣體流量的穩(wěn)定性是影響設(shè)備處理效果的重要參數(shù)之一,質(zhì)量流量控制器是實(shí)現(xiàn)控制氣體流量穩(wěn)定性的重要部分,那么流量控制器的選擇有什么經(jīng)驗(yàn)可以分享給大家呢?
首先補(bǔ)充一點(diǎn),常壓大氣型的等離子處理設(shè)備建議選擇的是帶有流量控制器的專(zhuān)用氣源來(lái)為設(shè)備提供穩(wěn)定的工作氣體,那么低壓真空型的等離子處理設(shè)備,一般會(huì)選擇使用質(zhì)量流量控制器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)通入工藝氣體的流量控制,低壓真空型的等離子處理設(shè)備的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間,一些大型的低壓真空等離子處理設(shè)備也會(huì)使用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。了解了以上信息,那么氣體流量控制器如何選擇?普樂(lè)斯作為真空等離子清洗機(jī)品牌廠商,在選擇上也有經(jīng)驗(yàn)可與大家探討:
通入的工藝氣體不同,建議選擇相應(yīng)的氣體的專(zhuān)用質(zhì)量流量控制器,可以有效保障輸入氣體的穩(wěn)定和計(jì)量,因?yàn)楦鶕?jù)所使用的工藝氣體不同,氣體分子的大小也會(huì)不同、其化學(xué)性質(zhì)也是不同的,如果使用相同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器是會(huì)存在流量誤差以及安全隱患的。另外,如使用的是常規(guī)工藝氣體,可以選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn),只需要保障氣體流量的穩(wěn)定性;需要注意的是,如果使用的是H2、CF4等特殊氣體或其他易爆易燃具有腐蝕性的工藝氣體,那么則一定要使用專(zhuān)用的質(zhì)量流量控制器設(shè)備。
如需對(duì)液態(tài)單體進(jìn)行流量監(jiān)控,也可增加氣液流量計(jì),但需考慮單體的測(cè)量元素、沸點(diǎn)、冷凝點(diǎn)等因素,可視情況進(jìn)行選擇。以上就是真空等離子清洗機(jī)品牌廠商在選擇流量控制器時(shí)總結(jié)出的一些經(jīng)驗(yàn),普樂(lè)斯擁有自主研發(fā)團(tuán)隊(duì)、多年從業(yè)經(jīng)驗(yàn),如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn),歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢,或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電!


實(shí)驗(yàn)型低壓真空等離子處理設(shè)備的質(zhì)量流量控制器選擇:
實(shí)驗(yàn)型設(shè)備通常來(lái)說(shuō)對(duì)流量控制要求不算嚴(yán)苛,純手動(dòng)操作的設(shè)備,也會(huì)使用到手動(dòng)浮子流量計(jì)。
選擇時(shí)的其他注意事項(xiàng):
低壓真空等離子處理設(shè)備是需要保證真空的反應(yīng)腔體壓力穩(wěn)定,所以在選用好適合的氣體流量控制器后,還應(yīng)該需注意氣管接頭的選用。通常會(huì)使用到的是快擰接頭或卡套接頭作為氣管接頭,來(lái)滿足工藝氣體真空管路的密封性。
實(shí)驗(yàn)型設(shè)備通常來(lái)說(shuō)對(duì)流量控制要求不算嚴(yán)苛,純手動(dòng)操作的設(shè)備,也會(huì)使用到手動(dòng)浮子流量計(jì)。
選擇時(shí)的其他注意事項(xiàng):
低壓真空等離子處理設(shè)備是需要保證真空的反應(yīng)腔體壓力穩(wěn)定,所以在選用好適合的氣體流量控制器后,還應(yīng)該需注意氣管接頭的選用。通常會(huì)使用到的是快擰接頭或卡套接頭作為氣管接頭,來(lái)滿足工藝氣體真空管路的密封性。

此外,當(dāng)處理的是一些特殊材料時(shí),可能會(huì)把液態(tài)單體作為放電介質(zhì),這時(shí)一定要使用手動(dòng)浮子流量計(jì)作為流量控制器;對(duì)于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計(jì);對(duì)真空環(huán)境要求比較嚴(yán)格的,建議使用高密封性的浮子流量計(jì)。

如需對(duì)液態(tài)單體進(jìn)行流量監(jiān)控,也可增加氣液流量計(jì),但需考慮單體的測(cè)量元素、沸點(diǎn)、冷凝點(diǎn)等因素,可視情況進(jìn)行選擇。以上就是真空等離子清洗機(jī)品牌廠商在選擇流量控制器時(shí)總結(jié)出的一些經(jīng)驗(yàn),普樂(lè)斯擁有自主研發(fā)團(tuán)隊(duì)、多年從業(yè)經(jīng)驗(yàn),如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn),歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢,或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電!
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