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在線式等離子清洗機(jī)介紹

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2023-03-08 09:01【
文章導(dǎo)讀:等離子處理設(shè)備的表面處理工藝屬于干式清洗方式,在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、微機(jī)電系統(tǒng)、光電元器件等封裝領(lǐng)域中的優(yōu)勢明顯,有利于提高晶粒與焊盤導(dǎo)電膠的粘附性能、焊膏浸潤性能、金屬鍵合強(qiáng)度、塑封料和金屬外殼包覆的可靠性等。在實(shí)際的處理中,按照等離子處理設(shè)備的運(yùn)行方式,我們可以將其分為獨(dú)立式等離子清洗機(jī)和在線式等離子清洗機(jī)。
等離子處理設(shè)備的表面處理工藝屬于干式清洗方式,在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、微機(jī)電系統(tǒng)、光電元器件等封裝領(lǐng)域中的優(yōu)勢明顯,有利于提高晶粒與焊盤導(dǎo)電膠的粘附性能、焊膏浸潤性能、金屬鍵合強(qiáng)度、塑封料和金屬外殼包覆的可靠性等。在實(shí)際的處理中,按照等離子處理設(shè)備的運(yùn)行方式,我們可以將等離子清洗機(jī)分為獨(dú)立式等離子清洗機(jī)和在線式等離子清洗機(jī)。
在線式等離子清洗機(jī)
獨(dú)立式等離子清洗機(jī)也叫做離線式、單體式、批量式等離子清洗機(jī),其中設(shè)備構(gòu)成主要包括等離子發(fā)生系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、氣路控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、真空發(fā)生系統(tǒng)、鈑金件等部件。
而在線式等離子清洗機(jī)同樣有其他稱謂,如連續(xù)式、不間斷式等離子清洗機(jī),在線式等離子清洗機(jī)是在獨(dú)立式等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上,即滿足產(chǎn)品處理均勻性和一致性的同時(shí),為提高自動(dòng)化的程度與減少人工參與而設(shè)計(jì)的。因此其中的主要組成部分除了上述獨(dú)立式等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)組成外再增加了:上下料推送結(jié)構(gòu)、上下料放置平臺、上下料提升系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料結(jié)構(gòu)、對應(yīng)的設(shè)備主體框架。
在線式等離子清洗機(jī)
而二者在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域都能夠很好地處理材料,使其達(dá)到我們所要求的標(biāo)準(zhǔn),如銅引線框架,由于銅的氧化物和其他的有機(jī)污染物會造成密封模型與銅引線框架分層,從而引起封裝后器件的密封性變差以及慢性滲氣現(xiàn)象,還會影響芯片的粘接和引線鍵合質(zhì)量,因而需使用等離子處理系統(tǒng)來去除氧化物和有機(jī)物,同時(shí)達(dá)到表面活化和粗化的效果,確保打線和封裝的可靠性。
在線式等離子清洗機(jī)
所以盡管在線式等離子清洗機(jī)是在獨(dú)立式的基礎(chǔ)上,所迭代更新的具有更加細(xì)分處理要求的設(shè)備,但二者在處理材料時(shí)都具有十分明顯的處理效果,將其區(qū)分開來的更多的是事先在處理前對材料處理標(biāo)準(zhǔn)的不同,這一不同導(dǎo)致了我們在實(shí)際使用中需要根據(jù)具體需求來決定選擇不同的設(shè)備。

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