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真空等離子處理機的三種真空泵組

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2019-07-18 14:13【
文章導讀:當真空等離子處理機的腔體較大,為保證抽真空速度,我們會選用真空泵組。常見的有三種泵組組合方式,接下來就為大家逐一介紹。
真空等離子處理機的真空泵組一般分為三種,第一種是旋片式真空泵加上羅茨泵組成的油式泵組;第二種是干式螺桿真空泵加上羅茨泵組合成的干式泵組;第三種是機械泵加上分子泵組成的一款特別的分子泵組。這三種泵組分別有哪些優(yōu)點?又有哪些選擇的注意事項呢?普樂斯為大家逐一來介紹一下。
一、油式泵組
這種泵組是我們真空等離子處理機中zui為常見的一種泵組,它是由旋片式真空泵作為底泵,外加羅茨泵作為次級泵組合而成的泵組。油式泵組一般運用于對潔凈度要求不是很高,且腔體較大的真空等離子處理機上。其優(yōu)點有很多:首先,能夠大幅度加大抽速,減少抽真空的時間;其次,結構較為簡單,維護方便;還有,性價比較高,具有價格優(yōu)勢。
油式泵組-普樂斯等離子處理機
二、干式泵組
這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵,羅茨泵作為次級泵組合成的泵組。因為都是由干式真空泵組合而成的,所以不會出現(xiàn)油污染,潔凈度相較于油式泵組更高一些。干式泵組一般運用于生物醫(yī)療領域、半導體領域以及航天航空領域等潔凈度要求較高的行業(yè)。
干式泵組作為一款性能優(yōu)越的泵組,它的優(yōu)點還真不少:首先,潔凈度高,避免了油污染;其次,抽真空速度快,提高了工作效率;然后,工作時性能穩(wěn)定,聲音低;還有,對工作環(huán)境的要求低,能應對各種惡劣的工作環(huán)境。
干式泵組-普樂斯等離子處理機
三、分子泵組
使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境,所以分子泵組一般是運用在鍍膜機、刻蝕機等對真空環(huán)境要求高的設備上。分子泵組這么厲害,那它又有哪些優(yōu)點呢?首先,分子泵組啟動快,而且抽速非???;其次,分子泵組是不使用油的,不會產(chǎn)生油污染;還有,維護簡單。
分子泵組-普樂斯等離子處理機
以上就是真空等離子處理機所使用的三種真空泵組的介紹、優(yōu)點以及適用的工作環(huán)境,如果您想要了解更多關于產(chǎn)品的詳細內容或在設備使用中有疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電! 

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