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晶圓光刻膠去除能用等離子清洗機(jī)嗎？該使用哪種設(shè)備？

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2020-10-21 09:44【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓清洗是一個(gè)必不可少的環(huán)節(jié)，其中晶圓殘留光刻膠的去除，就能夠用等離子清洗機(jī)進(jìn)行處理的。那么晶圓光刻膠去除所用的等離子清洗設(shè)備該用哪種呢？
       在晶圓光刻膠去除的實(shí)際應(yīng)用中，基本都會(huì)采用感應(yīng)耦合式的真空低壓等離子清洗機(jī)，這種類型的等離子清洗機(jī)仿佛也逐漸成為半導(dǎo)體行業(yè)的專屬，那么這類等離子清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)和一般常見的等離子處理設(shè)備有什么不同的地方呢？
晶圓光刻膠去除等離子清洗機(jī)處理-普樂斯
       等離子清洗機(jī)感應(yīng)放電等離子體是通過將射頻功率加在一個(gè)非共振線圈上產(chǎn)生的。因此該種等離子清洗機(jī)的常見結(jié)構(gòu)主要有兩種，都適用在低長寬比的放電系統(tǒng)中。其中一種常見結(jié)構(gòu)是螺旋型結(jié)構(gòu)，采用的是圓筒螺旋狀線圈類型，如下圖所示。
普樂斯等離子清洗機(jī)圓筒螺旋狀線圈型
       另一種常見結(jié)構(gòu)是盤香型結(jié)構(gòu)，采用的是平面盤繞狀線圈類型如下圖所示。
普樂斯等離子清洗機(jī)平面盤繞狀線圈型
       此外，有一種較為特別的盤香型結(jié)構(gòu)是將盤繞狀線圈加入等離于體內(nèi)部的放電類型，其結(jié)構(gòu)如下圖所示。
普樂斯等離子清洗機(jī)盤繞狀線圈加入等離于體內(nèi)部
       感應(yīng)耦合式的等離子清洗設(shè)備具有較為特別的基本原理和特點(diǎn)，因此在設(shè)計(jì)過程中要對(duì)工藝和效率進(jìn)行把控，才能保證良好的等離子表面處理效果。在此簡單提一點(diǎn)，用于處理LCD液晶屏的等離子清洗機(jī)，就是使用的內(nèi)置盤繞狀線圈感應(yīng)生成等離子體。
       普樂斯從2011年開始涉足半導(dǎo)體行業(yè)至今已有9年，專注研制等離子清洗機(jī)，等離子體清洗機(jī)，等離子清洗設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理機(jī)，在光刻膠去除、打線即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工藝方面積累了較為豐富的等離子表面處理經(jīng)驗(yàn)，合作客戶接近20家，我們正努力成為半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的等離子表面處理工藝解決方案服務(wù)商。是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。等離子表面處理過的樣品包括：硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架等。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！ 

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