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用于等離子清洗機(jī)參數(shù)診斷的朗繆爾探針是什么樣的？

返回列表 來(lái)源：普樂(lè)斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2020-04-23 09:53【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：等離子清洗機(jī)處理效果的影響因素有很多，等離子參數(shù)是重要的影響因素，那么能夠知道，對(duì)等離子清洗設(shè)備的等離子體參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和診斷是具有重要意義的。
等離子清洗機(jī)處理效果的影響因素有很多，等離子參數(shù)是重要的影響因素，那么能夠知道，對(duì)等離子清洗設(shè)備的等離子體參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和診斷是具有重要意義的。測(cè)量和診斷等離子體參數(shù)的方式比較多，朗繆爾探針?lè)ň褪茄赜弥两竦囊环N常見(jiàn)診斷方式，那么這種朗繆爾探針?lè)ㄊ鞘裁礃拥哪兀?/span>
朗繆爾探針關(guān)于電壓和電流的定義-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)
朗繆爾探針?lè)ū举|(zhì)上是使用一種靜電探針，通過(guò)將一根金屬探針插入到等離子體中，并對(duì)其施加正或負(fù)的偏置電壓以收集電子或離子電流。與任何其他電極一樣，探針周圍會(huì)形成一個(gè)鞘層，且面積通常是非常小的，因此，在適當(dāng)?shù)臈l件下，它們只對(duì)等離子清洗機(jī)的等離子體產(chǎn)生小的局域干擾。上圖示出了一個(gè)探針的電壓和電流的定義。
朗繆爾探針典型的探針電壓-電流特征曲線-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)
在實(shí)際的參數(shù)診斷過(guò)程中，探針相對(duì)于地的偏置電壓為VB,而等離子體相對(duì)于地的電位為φp。當(dāng)探針電壓Vb=φp時(shí)，探針處于與等離子體相同的電位，此時(shí)它收集到的電流主要來(lái)自易動(dòng)的電子。當(dāng)增加Vb并使其超過(guò)φp時(shí)，電流將趨于飽和而達(dá)到電子飽和電流值，但電流也會(huì)因探針有效收集面積的增加而隨電壓增加，這與探針的幾何形狀有關(guān)。不過(guò)當(dāng)探針電壓變化時(shí)，它的有效收集面積也會(huì)有所改變，進(jìn)而引起離子飽和電流的改變。當(dāng)然由于離子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子，所以離子飽和電流遠(yuǎn)小于電子飽和電流。變化規(guī)律正如上圖典型的探針電壓-電流特征曲線所示。

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