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等離子清洗機(jī)行業(yè)中所說的朗繆爾探針法是什么？

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2019-12-16 15:02【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：對(duì)等離子清洗機(jī)有過一定了解的，相信都知道，等離子體的參數(shù)不同，對(duì)產(chǎn)品和材料的處理效果會(huì)有很大不同。那么對(duì)等離子體參數(shù)的測(cè)量和診斷，對(duì)真空或大氣型的等離子清洗機(jī)設(shè)備均具有重要意義。行業(yè)內(nèi)所說的朗繆爾探針實(shí)際上就是一種等離子體診斷的工具，今天普樂斯就來與大家探討與介紹這一常用的等離子體診斷方式。
對(duì)等離子清洗機(jī)有過一定了解的，相信都知道，等離子體的參數(shù)不同，對(duì)產(chǎn)品和材料的處理效果會(huì)有很大不同。那么對(duì)等離子體參數(shù)的測(cè)量和診斷，對(duì)真空或大氣型的等離子清洗機(jī)設(shè)備均具有重要意義。行業(yè)內(nèi)所說的朗繆爾探針實(shí)際上就是一種等離子體診斷的工具，今天普樂斯就來與大家探討與介紹這一常用的等離子體診斷方式。
等離子清洗機(jī)行業(yè)中所說的朗繆爾探針法是什么？-普樂斯
朗繆爾探針其實(shí)是一種靜電探針，它發(fā)明時(shí)間較早，且診斷方法也比較容易理解，因此現(xiàn)如今仍在沿用，比較具有代表性，這種靜電探針方式是通過將一根金屬探針插入到等離子體當(dāng)中，并且在探針上施加正或負(fù)的偏置電壓，從而來收集電子或離子電流。跟其他任一電極相同，探針的周邊會(huì)產(chǎn)生一個(gè)鞘層，而且其面積通常是很小的，因而，在某些適當(dāng)?shù)臈l件下，探針法只對(duì)等離子體產(chǎn)生很小的局域干擾。下面的圖片表示出一個(gè)探針的電壓和電流的定義。
等離子清洗機(jī)的朗繆爾探針法電壓與電流的定義-普樂斯
在具體的診斷過程中，探針相對(duì)于地的偏置電壓為VB,而此時(shí)等離子體跟地相對(duì)的電位為φp。當(dāng)探針電壓Vb=φp時(shí)，探針處于跟等離子體一致的電位，此時(shí)它收集到的電流主要來自易動(dòng)的電子。當(dāng)增加Vb并使其超過φp時(shí)，電流將趨于飽和而達(dá)到電子飽和電流值，但電流也會(huì)因探針有效收集面積的增加而隨電壓增加，這跟探針的幾何形狀有一定關(guān)系。不過當(dāng)探針電壓發(fā)生變化，它的有效收集面積也會(huì)有一定改變，進(jìn)而導(dǎo)致離子飽和電流的改變。當(dāng)然由于離子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子，所以離子飽和電流遠(yuǎn)小于電子飽和電流。變化規(guī)律正如下圖典型的探針電壓-電流特征曲線所示。
等離子清洗機(jī)的朗繆爾探針法電壓與電流特征曲線-普樂斯
 
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