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等離子清洗機為什么不放電?趕快查查匹配器

返回列表 來源:昆山普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2018-08-11 20:44【
文章導讀:射頻等離子清洗機核心部件就是射頻電源和匹配器,可能會遇到電源啟動正常而腔體不放電的情況,那是因為匹配器工作不正常,今天普樂斯小伙伴給大家分享一些關于匹配器的小知識供大家參考:
1、匹配器故障說明

1-1空氣電容損壞

故障原因:空氣電容在運行過程中摩擦產生導電雜質,造成局部短路;摩擦導致動片軸損壞,無法正常調節(jié)。
空氣電容


1-2進口晶體管故障

故障原因:與空氣電容動片軸損壞有關,空氣電容無法正常工作,射頻輸出阻抗無法調節(jié),導致晶體管擊穿;在使用過程中,匹配器初始值調節(jié)不當,匹配時間過長或真空腔體內輝光放電不穩(wěn)定也會造成晶體管損壞。

進品晶體管

2、匹配器日常使用注意事項

2-1定期對真空腔體內的插針公母頭進行檢查,防止有嚴重氧化及斷裂現(xiàn)象。
2-2確認電極板擺放正確,無順序錯誤;在使用過程中如需調節(jié)極板數量及間距,必須確認匹配器自動匹配狀態(tài),如匹配時間較長,則需調節(jié)初始值。
2-3定期確認匹配器的初始值,長時間使用可能會出現(xiàn)初始值偏移的狀況,需要定期確認并根據實際情況調整。
2-4如出現(xiàn)初始值嚴重偏移,則需確認匹配器內部和空氣電容葉片是否錯位及是否有打火現(xiàn)象,如出現(xiàn)此類情況,需及時處理??諝怆娙莸墓潭ㄈ~片及動片在調到zui大時是基本重合的;如出現(xiàn)打火現(xiàn)象,確認葉片有無燒壞,如燒壞可將燒壞位置打磨后再使用,葉片之間的距離太近也會出現(xiàn)打火現(xiàn)象。
2-5如出現(xiàn)電容無法調節(jié)的情況,可打開匹配器,手動控制調節(jié)電容,確認葉片電容能否正常旋轉。需留意電機與空氣電容的傳動部分是否有無法轉動的情況,出現(xiàn)卡死需及時報修,如出現(xiàn)齒輪與軸之間打滑,可先自行處理。
 
3、其他事項

3-1匹配器是可長時間運行工作的,平時需注意觀察及清潔。定期對匹配內部空氣電容區(qū)域進行檢查,打開蓋板查看是否有空氣電容摩擦產生的雜質沉積,如有則需用無塵布+酒精的方法清潔,因雜質通常為導電物質不可用氣吹,以免出現(xiàn)打火及控制部分短路。
 
3-2當匹配器出現(xiàn)無法正常工作時,需及時確認電極板擺放、插針公母頭、屏弊盒內連接(是否有接觸不良或導電片與外壁接觸和距離過近)、匹配器初始值、內部是否清潔、空氣電容是否錯位和打火、空氣電容能否轉動(是否有打滑)、傳動電機是否能夠工作、RF電源是否有輸出以及各連接段是否短路等情況。如匹配器內有燒焦的味道和以上問題無法解決,請及時與專業(yè)人員聯(lián)系。
 
3-3匹配器內部配件的使用周期是無法具體確認的,這與使用環(huán)境、處理產品、使用是否得當等均有關系,主要原因可能是匹配器內雜質造成了短路或打火。
 
以上關于射頻電源匹配器的故障排除和維護方法介紹對您有什么幫助嗎?您有什么異議或更好的知識點嗎?歡迎大家留言與我們交流和分享。
 
普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機,等離子表面處理設備,已通過ISO9001質量體系和歐盟CE認證,為電子、半導體、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案,是行業(yè)內值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解更多關于產品的詳細內容或在設備使用中有疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電! 

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