真空等離子清洗設(shè)備（CCP式）電極饋入的方式有哪些？
文章導(dǎo)讀：CCP?容性耦合等離子體 (capacitively coupled plasma)是目前國內(nèi)常見的真空等離子清洗設(shè)備電極放電形式，有些愛學(xué)習(xí)的小伙伴想了解一下電極饋入方式，普樂斯的技術(shù)人員給大家簡單介紹如下，僅供參考：
真空等離子清洗設(shè)備CCP容性耦合等離子體放電使用的電極饋入方式常見的有兩類：
1、第1類是通過定制的銅棒+聚四氟乙烯絕緣件配合饋入到腔體內(nèi)，在腔體內(nèi)銅棒與連接排連接在一起。真空等離子清洗設(shè)備電極板上也安裝相應(yīng)的連接件。連接方式可以是插針公母頭連接、銅片+彈片配合連接以及連接排與電極板通過銅帶利用螺絲鎖定連接。下圖為常用的插針公母頭連接的示意，其他連接只是在腔體內(nèi)部有區(qū)別。
2、另外一類是在真空等離子清洗設(shè)備電極板上焊接連接棒，通過定制的絕緣套與焊接的連接棒配合，連接至腔體外；在腔體外再用導(dǎo)電排連接在一起，然后與等離子發(fā)生器的輸出連接在一起。這一類主要是用于水冷電極結(jié)構(gòu)連接，如是水冷電極結(jié)構(gòu)那么焊接的連接棒為中空結(jié)構(gòu)，這樣就可以中通水、連接棒外接射頻。具體結(jié)構(gòu)需根客戶要求而定。下圖為連接示意（僅為示意圖，實際結(jié)構(gòu)會有所區(qū)別）。
以上關(guān)于真空等離子清洗設(shè)備電極饋入的方式清楚了嗎？您還見過那些電極的饋入方式或者有好的想法，歡迎大家留言與我們交流和分享。
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1、第1類是通過定制的銅棒+聚四氟乙烯絕緣件配合饋入到腔體內(nèi)，在腔體內(nèi)銅棒與連接排連接在一起。真空等離子清洗設(shè)備電極板上也安裝相應(yīng)的連接件。連接方式可以是插針公母頭連接、銅片+彈片配合連接以及連接排與電極板通過銅帶利用螺絲鎖定連接。下圖為常用的插針公母頭連接的示意，其他連接只是在腔體內(nèi)部有區(qū)別。
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| 真空等離子清洗設(shè)備電極設(shè)計圖 | 真空等離子清洗設(shè)備電極實物圖 |
2、另外一類是在真空等離子清洗設(shè)備電極板上焊接連接棒，通過定制的絕緣套與焊接的連接棒配合，連接至腔體外；在腔體外再用導(dǎo)電排連接在一起，然后與等離子發(fā)生器的輸出連接在一起。這一類主要是用于水冷電極結(jié)構(gòu)連接，如是水冷電極結(jié)構(gòu)那么焊接的連接棒為中空結(jié)構(gòu)，這樣就可以中通水、連接棒外接射頻。具體結(jié)構(gòu)需根客戶要求而定。下圖為連接示意（僅為示意圖，實際結(jié)構(gòu)會有所區(qū)別）。
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| 真空等離子清洗設(shè)備電極設(shè)計圖 | 真空等離子清洗設(shè)備電極實物圖 |
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