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等離子清洗機(jī)是如何達(dá)到清洗的效果

返回列表 來(lái)源：普樂(lè)斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2019-09-29 11:19【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：等離子清洗機(jī)在現(xiàn)在的工業(yè)生產(chǎn)中起到很重要的作用，現(xiàn)在等離子清洗機(jī)在很多企業(yè)中都是不可缺少的清洗設(shè)備。等離子清洗不需要添加任何溶劑，且無(wú)有害物質(zhì)產(chǎn)生，也通常被叫做環(huán)保型的干式清洗，那么等離子清洗機(jī)是如何達(dá)到清洗的效果呢？
等離子清洗機(jī)原理：通過(guò)化學(xué)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為幾個(gè)～幾十個(gè)nm）。被清除的污染物可能為有機(jī)物、環(huán)氧樹(shù)脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對(duì)應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝。按照清洗原理可以分為：物理清洗和化學(xué)清洗。
等離子清洗機(jī)原理-普樂(lè)斯等離子表面處理
物理清洗：表面作用以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫濺射腐蝕（SPE）。我們以Ar來(lái)說(shuō)明等離子清洗機(jī)的化學(xué)反應(yīng)。
例：Ar＋e- →Ar＋＋2e-     Ar＋＋沾污→揮發(fā)性沾污
Ar＋在自偏壓或外加偏壓作用下被加速產(chǎn)生動(dòng)能，然后轟擊在放在負(fù)電極上的被清洗工件表面，工件表面的污染物被轟擊后，游離在腔體內(nèi)部，然后經(jīng)過(guò)真空泵抽出腔體外部。一般用于去除氧化物、環(huán)氧樹(shù)脂溢出或是微顆粒污染物。
等離子清洗機(jī)的物理清洗原理-普樂(lè)斯等離子表面處理
化學(xué)清洗:表面作用以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗，又稱PE。
例1：O2＋e- →2O*＋e-      O*＋有機(jī)物→CO2＋H2O

從反應(yīng)式可見(jiàn)，氧等離子體通過(guò)化學(xué)反應(yīng)可使非揮發(fā)性有機(jī)物變成易揮發(fā)的H2O和CO2。
例2：H2＋e- →2H*＋e-      H*＋非揮發(fā)性金屬氧化物→金屬＋H2O
從反應(yīng)式可見(jiàn)，氫等離子體通過(guò)化學(xué)反應(yīng)可以去除金屬表面氧化層，通常用于清潔金屬表面，在清洗過(guò)程中避免金屬氧化。
等離子清洗機(jī)化學(xué)清洗方式-普樂(lè)斯等離子表面處理
在正常的清洗過(guò)程中物理清洗與化學(xué)清洗時(shí)同時(shí)存在的，可以根據(jù)具體要求選擇不同的工藝氣體。

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    ‌環(huán)保節(jié)能‌：無(wú)需使用化學(xué)溶劑，減少?gòu)U水廢氣排放，符合綠色生產(chǎn)要求，且能耗低。

    ‌廣泛適用‌：適用于多種材料表面，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等，不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

    ‌工藝可控‌：通過(guò)調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù)，可精確控制清洗過(guò)程‌。


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