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等離子清洗機(jī)處理晶粒

返回列表 來(lái)源:普樂(lè)斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2023-09-13 09:15【
文章導(dǎo)讀:等離子清洗機(jī)是通過(guò)利用高壓電場(chǎng)產(chǎn)生的等離子體來(lái)實(shí)現(xiàn)表面處理的。在這個(gè)過(guò)程中,等離子體中的正負(fù)離子和電子相互碰撞,產(chǎn)生大量的熱能和活化能。這些能量可以破壞晶粒表面的污染物和雜質(zhì),使其分解成更小的顆粒。同時(shí),等離子體中的氧分子也可以將晶粒表面的氧化層去除,從而提高晶粒的表面質(zhì)量。
在半導(dǎo)體行業(yè)中,等離子清洗機(jī)被用于清除晶粒表面的污染物和雜質(zhì),從而提高晶粒的質(zhì)量和性能。
什么是晶粒?
晶粒是一種材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的細(xì)微變化,通常出現(xiàn)在晶體材料中。當(dāng)材料受到外力作用時(shí),原子或分子的排列會(huì)發(fā)生變化,形成一些微小的結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)就是晶粒。晶粒的形成對(duì)材料的性質(zhì)有很大的影響例如,晶粒的形狀和大小會(huì)影響材料的強(qiáng)度和韌性。例如,晶粒的形狀和大小可以影響材料的抗拉強(qiáng)度和延展性。此外,晶粒的形成也可以影響材料的熱穩(wěn)定性和電導(dǎo)率等性質(zhì)。
半導(dǎo)體
等離子清洗機(jī)處理晶粒的原理
等離子清洗機(jī)是通過(guò)利用高壓電場(chǎng)產(chǎn)生的等離子體來(lái)實(shí)現(xiàn)表面處理的。在這個(gè)過(guò)程中,等離子體中的正負(fù)離子和電子相互碰撞,產(chǎn)生大量的熱能和活化能。這些能量可以破壞晶粒表面的污染物和雜質(zhì),使其分解成更小的顆粒。同時(shí),等離子體中的氧分子也可以將晶粒表面的氧化層去除,從而提高晶粒的表面質(zhì)量。
等離子清洗機(jī)
等離子清洗機(jī)對(duì)晶粒質(zhì)量的影響
1. 晶粒尺寸
等離子清洗機(jī)可以改變材料表面的電場(chǎng)強(qiáng)度,從而影響晶粒的生長(zhǎng)速度。在一定范圍內(nèi),隨著電場(chǎng)強(qiáng)度的增加,晶粒尺寸逐漸減小。等離子體清洗機(jī)產(chǎn)生的高頻電場(chǎng)可以破壞晶界的化學(xué)鍵,使晶粒長(zhǎng)大,從而達(dá)到細(xì)化晶粒的目的。
2. 形狀
等離子體清洗機(jī)產(chǎn)生的等離子體具有很高的能量密度,可以使物體表面的污染物分解或脫附。在這個(gè)過(guò)程中,晶粒形狀會(huì)發(fā)生改變。一般情況下,經(jīng)過(guò)等離子體清洗后,晶粒形狀變得更加規(guī)整,且分布更加均勻。
等離子清洗機(jī)
3. 表面形貌
經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理后,晶粒表面的粗糙度降低,使其表面更加光滑。這樣可以增強(qiáng)晶粒之間的結(jié)合力,提高晶粒的穩(wěn)定性和可靠性。

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