在真空等離子機(jī)上常見的氣路控制布局和特色之處
文章導(dǎo)讀:控制工藝氣體的穩(wěn)定和持續(xù)是真空等離子機(jī)保證處理效果的因素之一,普樂斯剛向大家介紹了氣路控制的組成,那么真空等離子機(jī)常見的氣路控制布局是什么樣的呢?有什么特色的地方呢?
控制工藝氣體的穩(wěn)定和持續(xù)是保證真空等離子機(jī)處理效果的因素之一,普樂斯在上篇文章中向大家介紹了氣路控制的組成,那么真空等離子機(jī)常見的氣路控制布局是什么樣的呢?以及各氣路組成部分有什么特色的地方呢?接下來我們一起學(xué)習(xí)。
一、真空等離子機(jī)常見的氣路控制布局
真空等離子機(jī)上常見的氣路通常包括三大組成部分:兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制和一路壓縮空氣控制即CDA控制。下圖為常見的氣路控制布局:
一、真空等離子機(jī)常見的氣路控制布局
真空等離子機(jī)上常見的氣路通常包括三大組成部分:兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制和一路壓縮空氣控制即CDA控制。下圖為常見的氣路控制布局:

二、真空等離子機(jī)各個(gè)氣路組成部分及特點(diǎn)
①壓縮空氣操控部分只需氣體高壓、過濾器及帶輸出報(bào)警壓力表整套組件,不需其他組件。因CDA為部分元件的動(dòng)力氣體,只需在氣體壓力不足時(shí)供給報(bào)警服務(wù)即可。
②破空氣體部分是在CDA操控氣路基礎(chǔ)上增加一支大口徑真空電磁閥,在工藝運(yùn)行完畢后為真空腔體供給破真空氣體輸入服務(wù)。因破真空氣體通常為高潔凈氣體,所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器,如下圖所示。
①壓縮空氣操控部分只需氣體高壓、過濾器及帶輸出報(bào)警壓力表整套組件,不需其他組件。因CDA為部分元件的動(dòng)力氣體,只需在氣體壓力不足時(shí)供給報(bào)警服務(wù)即可。
②破空氣體部分是在CDA操控氣路基礎(chǔ)上增加一支大口徑真空電磁閥,在工藝運(yùn)行完畢后為真空腔體供給破真空氣體輸入服務(wù)。因破真空氣體通常為高潔凈氣體,所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器,如下圖所示。

③工藝氣體常規(guī)上為高潔凈氣體,過濾器經(jīng)常也算是選裝的組件。工藝氣體控制部分主要包括調(diào)壓閥、過濾器、帶報(bào)警輸出報(bào)警表、真空電磁閥和質(zhì)量控制器。工藝氣體通常配置兩路,也可根據(jù)實(shí)際要求來配置多路氣體。
④在此氣路布局下,進(jìn)氣的順序?yàn)椋簹怏w先經(jīng)過濾器輸送至調(diào)壓閥、帶報(bào)警輸出壓力表,再依次通過真空電磁閥和質(zhì)量控制器。
以上就是真空等離子機(jī)常見的氣路控制布局和各組成部分的特點(diǎn),如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問,歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!
④在此氣路布局下,進(jìn)氣的順序?yàn)椋簹怏w先經(jīng)過濾器輸送至調(diào)壓閥、帶報(bào)警輸出壓力表,再依次通過真空電磁閥和質(zhì)量控制器。
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