等離子體氣相沉積是一種什么工藝，有什么特點呢？
文章導讀：等離子體氣相沉積是一種表面處理工藝，它是應(yīng)用等離子體進行反應(yīng)，激活氣體，在基體的表面生成固態(tài)膜的一種技術(shù)，它通過高能量的電場對氣體進行電離，形成等離子體，等離子體與工藝氣體進行反應(yīng)形成膜，貼附在基體的表面。這項工藝分為等離子體物理氣相沉積和等離子體化學氣相沉積，這兩者有哪些不同呢？
等離子體氣相沉積是一種表面處理工藝，它是應(yīng)用等離子體進行反應(yīng)，激活氣體，在基體的表面生成固態(tài)膜的一種技術(shù)，它通過高能量的電場對氣體進行電離，形成等離子體，等離子體與工藝氣體進行反應(yīng)形成膜，貼附在基體的表面。這項工藝分為等離子體物理氣相沉積和等離子體化學氣相沉積，這兩者有哪些不同呢？
我們從兩者特點、實質(zhì)、應(yīng)用三個角度進行對比：
一、特點：
等離子體物理氣相沉積：這種工藝中沉積粒子的能量可調(diào)節(jié)，在等離子體非平衡過程中，整個反應(yīng)活性更高，膜層質(zhì)量也更出色。
等離子體化學氣相沉積：這種工藝中膜的純度高、結(jié)晶狀態(tài)好、致密性好，在反應(yīng)中氣體與反應(yīng)物互相擴散，膜的附著力得到了保證，有利于膜的貼合，同時抗蝕、耐磨、鈍化等效果也出色。
二、實質(zhì)：
等離子體物理氣相沉積：在反應(yīng)中通過蒸發(fā)、濺射等物理的方式是鍍膜材料氣化，隨后在基體表面沉積成膜。
等離子體化學氣相沉積：直接使用氣態(tài)或者蒸發(fā)態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面進行翻譯，生產(chǎn)固態(tài)的沉積物，結(jié)晶成膜。
三、應(yīng)用：
等離子體物理氣相沉積：這項技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中已經(jīng)廣泛使用，實現(xiàn)了工業(yè)化的生產(chǎn)。
等離子體化學氣相沉積：鍍膜的產(chǎn)品涉及行業(yè)廣泛，實用性得到了很多行業(yè)的認可。
總體來看，等離子體氣相沉積技術(shù)比起過去的氣相沉積工藝有獨特的優(yōu)勢以及應(yīng)用方式，同時等離子體的介入會促使氣體分子的化學鍵斷裂和重組，生成活性基團，還能降低反應(yīng)溫度等等，是原本高溫下的氣相沉積可以在低溫進行。
昆山普樂斯電子13年專注研制等離子清洗機，等真空離子清洗機，等離子表面處理設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設(shè)備，大氣低溫等離子表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面 設(shè)備處理的國家高新技術(shù)企業(yè)，普樂斯嚴格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量體系管理，生產(chǎn)的等離子清洗機通過歐盟CE認證，為電子、半導體封裝、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中存在疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一 服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯隨時恭候您的來電！
一、特點：
等離子體物理氣相沉積：這種工藝中沉積粒子的能量可調(diào)節(jié)，在等離子體非平衡過程中，整個反應(yīng)活性更高，膜層質(zhì)量也更出色。
等離子體化學氣相沉積：這種工藝中膜的純度高、結(jié)晶狀態(tài)好、致密性好，在反應(yīng)中氣體與反應(yīng)物互相擴散，膜的附著力得到了保證，有利于膜的貼合，同時抗蝕、耐磨、鈍化等效果也出色。
等離子體物理氣相沉積：在反應(yīng)中通過蒸發(fā)、濺射等物理的方式是鍍膜材料氣化，隨后在基體表面沉積成膜。
等離子體化學氣相沉積：直接使用氣態(tài)或者蒸發(fā)態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面進行翻譯，生產(chǎn)固態(tài)的沉積物，結(jié)晶成膜。
三、應(yīng)用：
等離子體物理氣相沉積：這項技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中已經(jīng)廣泛使用，實現(xiàn)了工業(yè)化的生產(chǎn)。
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