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等離子清洗機(jī)射頻水平電極容性耦合放電形式是怎樣的

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2020-09-03 09:46【
文章導(dǎo)讀:等離子清洗機(jī)根據(jù)電源選取的不同,通常主要有中頻和射頻之分,而射頻等離子清洗機(jī)因放電形式不同,也有射頻容性耦合和感性耦合放電之分,在接下來的內(nèi)容中,我們先來了解一下射頻,以及水平電極的容性耦合放電形式和基礎(chǔ)原理。
      等離子清洗機(jī)根據(jù)電源選取的不同,通常主要有中頻和射頻之分,而射頻等離子清洗機(jī)因放電形式不同,也有射頻容性耦合和感性耦合放電之分,在接下來的內(nèi)容中,我們先來了解一下射頻,以及水平電極的容性耦合放電形式和基礎(chǔ)原理。
等離子清洗機(jī)射頻水平電極容性耦合放電形式是怎樣的-普樂斯
一、什么是射頻
      等離子清洗機(jī)的射頻或者說RF,是指工作頻率在MHz量級,射頻等離子清洗機(jī)的典型波段值為13.56MHz。在材料表面的等離子清洗應(yīng)用中,電容耦合式的射頻等離子清洗機(jī)適用范圍較為廣泛。
二、基本原理
      等離子清洗機(jī)中低溫等離子體的產(chǎn)生機(jī)制有多鐘,包括但不局限于直流輝光放電、射頻感應(yīng)放電、電容耦合射頻放電,其中,電容耦合水平電極板射頻放電又以處理面積大,在諸多研究和工業(yè)處理中應(yīng)用廣泛。下圖為水平電極容性耦合射頻等離子清洗機(jī)放電。
等離子清洗機(jī)射頻水平電極容性耦合放電形式是怎樣的-普樂斯
      對于電容耦合高頻等離子體源而言,保持在平行平板電極間的等離子體主要是通過高頻電場加熱。大部分的電容性耦合射頻等離子體反應(yīng)器都是非磁化的,工作頻率在1~100MHz之間,要比電子響應(yīng)電磁場的電子等離子體頻率要低,即ω<ωpe。非磁化容性耦合射頻放電模型如下圖所示,由于使用的容性耦合射頻放電能夠產(chǎn)生較大面積的穩(wěn)定等離子體,因而正如上述所說,電容性放電已經(jīng)成為低氣壓放電材料處理中應(yīng)用zui廣泛的等離子體源。
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