立昂微成功拉制12英寸硅單晶棒
業(yè)內(nèi)人士都知道，硅單晶棒是生產(chǎn)硅片的關(guān)鍵性步驟，拉晶過程是硅片制造的重中之重，核心技術(shù)中的核心，對工藝、材料和設(shè)備的要求極高，之后再經(jīng)切割、研磨、清洗、拋光以及外延等數(shù)十道工序制備成硅拋光片或硅外延片，然后成為芯片的“地基“。硅片直徑越大對材料和技術(shù)的要求越高，制造難度也越大。國內(nèi)市場上12英寸半導(dǎo)體硅片幾乎全部是進口，究其原因是國內(nèi)掌握相關(guān)生產(chǎn)技術(shù)的幾乎沒有。晶圓加工過程中所需的設(shè)備也是如此，絕大部分都是國外設(shè)備，普樂斯的國產(chǎn)等離子清洗機在晶圓加工環(huán)節(jié)起到的主要作用是對晶圓表面的超潔凈清洗以及去除光刻膠的殘留。
據(jù)了解，立昂微是我國少有的具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片及芯片制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈的集成電路企業(yè)，涉及半導(dǎo)體硅材料、半導(dǎo)體功率器件、集成電路制造三大業(yè)務(wù)板塊，其中半導(dǎo)體硅材料作為立昂微最核心的業(yè)務(wù)板塊之一，早在2016年底就在浙江衢州投資建設(shè)了除寧波以外的第二個半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地，先后成立了金瑞泓科技（衢州）有限公司和金瑞泓微電子（衢州）有限公司。
該基地經(jīng)過近一年的建設(shè)，8英寸硅外延生產(chǎn)線在2018年4月建成投產(chǎn)并實現(xiàn)批量銷售，8英寸的單晶、切、磨、拋廠房也將在2019年三季度建成投產(chǎn)，屆時將全線拉通8英寸硅單晶、硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)線。而今，隨著12英寸硅單晶棒的技術(shù)突破，將有效帶動國內(nèi)市場上高端產(chǎn)品的發(fā)展，有利于我國逐漸提升在半導(dǎo)體硅材料上的競爭新優(yōu)勢，也將形成良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，推動行業(yè)不斷進步，共同推進我國集成電路產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化加快發(fā)展。
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本文參考來源：中國半導(dǎo)體論壇
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