射頻真空等離子清洗機(jī)腔體不放電該檢查哪些？
文章導(dǎo)讀：在射頻真空等離子清洗機(jī)的使用中，您是否遇到過電源正常啟動(dòng)而腔體并不放電的情況呢？如果您使用的是普樂斯生產(chǎn)的有品質(zhì)保障的等離子清洗設(shè)備，那么這種情況是由匹配器工作不正常所導(dǎo)致的；如果不是，那么還需要綜合來進(jìn)行分析。
在射頻真空等離子清洗機(jī)的使用中，您是否遇到過電源正常啟動(dòng)而腔體并不放電的情況呢？如果您使用的是普樂斯生產(chǎn)的有品質(zhì)保障的等離子清洗設(shè)備，那么這種情況是由匹配器工作不正常所導(dǎo)致的；如果不是，那么還需要綜合來進(jìn)行分析。射頻電源和匹配器均是射頻真空等離子清洗機(jī)的關(guān)鍵部件，今天普樂斯就給大家分享一些關(guān)于匹配器的相關(guān)知識(shí)內(nèi)容供大家參考。
一、射頻真空等離子清洗機(jī)匹配器故障類型
匹配器的故障類型大致為為兩種，一種是空氣電容損壞，其發(fā)生故障是因?yàn)榭諝怆娙菰谶\(yùn)作的過程中產(chǎn)生了摩擦，進(jìn)而產(chǎn)生了導(dǎo)電雜質(zhì)，造成局部的短路；亦或者是因?yàn)槟Σ炼鴮?dǎo)致動(dòng)片軸損壞，使之無法進(jìn)行正常調(diào)節(jié)；另一種是進(jìn)口晶體管故障，其故障與空氣電容動(dòng)片軸的損壞有直接關(guān)系，因空氣電容無法正常工作，射頻輸出阻抗就沒法進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而導(dǎo)致晶體管被擊穿，此外，在匹配器的使用過程中，如果初始值調(diào)節(jié)不當(dāng)，匹配時(shí)間過長(zhǎng)或真空腔體內(nèi)輝光放電不穩(wěn)定均有可能引起晶體管的損壞。
二、匹配器在日常使用中的注意事項(xiàng)
在射頻真空等離子設(shè)備的日常使用中，注意匹配器的日常檢查，有利于延長(zhǎng)匹配器的使用壽命，降低設(shè)備的故障率，那么匹配器在使用中有哪些需要注意的呢？
1.對(duì)真空腔體內(nèi)的插針公母頭進(jìn)行定期檢查，防止出現(xiàn)嚴(yán)重氧化及斷裂的情況；
2.確認(rèn)電極板擺放是否正確，無順序錯(cuò)誤，此外，在真空等離子設(shè)備的使用過程中如果需要調(diào)節(jié)電極板數(shù)量及間距，必須確認(rèn)匹配器的自動(dòng)匹配狀態(tài)，如匹配時(shí)間較長(zhǎng)，則需調(diào)節(jié)初始值；
3.定期確認(rèn)匹配器的初始值，設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間使用就可能會(huì)出現(xiàn)初始值偏移的狀況，需要定期確認(rèn)并依照實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié)；
4.當(dāng)匹配器出現(xiàn)初始值嚴(yán)重偏移的情況，則需要確認(rèn)匹配器內(nèi)部和空氣電容葉片是否錯(cuò)位以及是否有打火現(xiàn)象，如出現(xiàn)此類情況，需及時(shí)處理?？諝怆娙莸墓潭ㄈ~片及動(dòng)片在調(diào)到zui大時(shí)是基本重合的；如有打火現(xiàn)象，還需確認(rèn)葉片是否燒壞，如燒壞可將燒壞的位置進(jìn)行打磨之后再進(jìn)行使用，此外，葉片之間的距離太近，也有可能出現(xiàn)打火的現(xiàn)象；
5.當(dāng)出現(xiàn)電容無法調(diào)節(jié)的情況，可以打開匹配器，進(jìn)行手動(dòng)控制調(diào)節(jié)，同時(shí)確認(rèn)葉片電容是否能夠正常旋轉(zhuǎn)。需注意電機(jī)與空氣電容的傳動(dòng)部分是否存在有無法轉(zhuǎn)動(dòng)的現(xiàn)象，如出現(xiàn)卡死，需要進(jìn)行及時(shí)報(bào)修，如出現(xiàn)齒輪和軸之間打滑，能夠先自行進(jìn)行簡(jiǎn)單處理。
除以上幾項(xiàng)需要注意的事項(xiàng)之外，我們平時(shí)還需要多注意觀察和清潔工作。對(duì)匹配內(nèi)部空氣電容區(qū)域進(jìn)行定期檢查，打開蓋板查看是否有空氣電容摩擦產(chǎn)生的雜質(zhì)沉積，如存在一定程度沉積，就需要使用無塵布蘸取酒精來進(jìn)行清潔，切忌使用氣體吹散進(jìn)行清潔，因?yàn)槌练e的雜質(zhì)通常是導(dǎo)電物質(zhì)，吹散后很容易出現(xiàn)打火及控制部分的短路。此外，匹配器內(nèi)部的配件使用周期是無法具體量化的，其使用周期與使用環(huán)境、處理產(chǎn)品、使用是否得當(dāng)?shù)染嘘P(guān)系。
普樂斯電子9年專注研制各類中頻及射頻等離子清洗機(jī)，等離子表面處理設(shè)備，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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