等離子表面處理選用氬氣時(shí)有什么功能和應(yīng)用？
文章導(dǎo)讀：氬氣是一種惰性工藝氣體，會(huì)根據(jù)等離子表面處理的需要來選用，那么使用氬氣等離子表面處理有什么功能和應(yīng)用呢？
等離子表面處理包括等離子表面清洗、等離子表面活化、等離子表面刻蝕、等離子表面涂鍍四大方面，所使用到的工藝氣體種類也較多，做表面清洗和活化通常會(huì)用到氧氣、氫氣、氮?dú)夂蛪嚎s空氣，當(dāng)根據(jù)工藝要求不同還會(huì)用到氬氣。氬氣在等離子表面處理中有何功能和應(yīng)用呢？
一、使用氬氣在等離子表面清洗中的優(yōu)勢(shì)
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品的表面Particle去除的工藝中，通常都會(huì)采用Ar等離子體對(duì)表面Particle進(jìn)行轟擊，以達(dá)到Particle被打散、松動(dòng)（與基材表面脫離）的效果，再配合超聲波清洗或離心清洗等工藝，將表面的Particle進(jìn)行去除。特別是在在半導(dǎo)體封裝工藝中，完成打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化，都是采用氬等離子體或氬氫等離子體進(jìn)行表面清洗。
一、使用氬氣在等離子表面清洗中的優(yōu)勢(shì)
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品的表面Particle去除的工藝中，通常都會(huì)采用Ar等離子體對(duì)表面Particle進(jìn)行轟擊，以達(dá)到Particle被打散、松動(dòng)（與基材表面脫離）的效果，再配合超聲波清洗或離心清洗等工藝，將表面的Particle進(jìn)行去除。特別是在在半導(dǎo)體封裝工藝中，完成打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化，都是采用氬等離子體或氬氫等離子體進(jìn)行表面清洗。
二、通過氬等離子進(jìn)行表面粗化
等離子的表面粗化處理又稱等離子表面刻蝕，其目的是提升材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工藝結(jié)合力，經(jīng)氬等離子表面處理后的表面張力會(huì)明顯提升?；钚詺怏w所產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度，但氬氣電離后產(chǎn)生的粒子相對(duì)較重，氬離子在電場(chǎng)的作用下的動(dòng)能會(huì)明顯高于活性氣體，所以其粗化效果會(huì)更加明顯，在無機(jī)物基材表面粗化工藝中應(yīng)用廣泛。如玻璃基材表面處理、金屬基材表面處理等。
等離子的表面粗化處理又稱等離子表面刻蝕，其目的是提升材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工藝結(jié)合力，經(jīng)氬等離子表面處理后的表面張力會(huì)明顯提升?；钚詺怏w所產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度，但氬氣電離后產(chǎn)生的粒子相對(duì)較重，氬離子在電場(chǎng)的作用下的動(dòng)能會(huì)明顯高于活性氣體，所以其粗化效果會(huì)更加明顯，在無機(jī)物基材表面粗化工藝中應(yīng)用廣泛。如玻璃基材表面處理、金屬基材表面處理等。
三、氬等離子表面處理對(duì)活性氣體輔助
因?yàn)闅鍤獾姆肿颖容^大，電離后產(chǎn)生的粒子比較后，在進(jìn)行等離子表面清洗和活化時(shí)通常會(huì)配合活性氣體混合使用，常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有效的對(duì)有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面進(jìn)行化學(xué)分解，但其粒子相對(duì)較小，斷鍵和轟擊能力有限，如加上一定比例的氬氣，那么所產(chǎn)生的等離子體對(duì)有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面的斷鍵和分解能力就會(huì)更強(qiáng)，加快清洗和活化的效率。
氬氣與氫氣混合應(yīng)用在打線和打鍵工藝中，除增加焊盤粗糙度外，還可以有效去除焊盤表面的有機(jī)污染物，同時(shí)對(duì)表面的輕微氧化進(jìn)行還原，在半導(dǎo)體封裝和SMT等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。
下圖分別為氬氣與氫氣混合產(chǎn)生的等離子體及氬氣與氧氣混合產(chǎn)生的等離子體。
因?yàn)闅鍤獾姆肿颖容^大，電離后產(chǎn)生的粒子比較后，在進(jìn)行等離子表面清洗和活化時(shí)通常會(huì)配合活性氣體混合使用，常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有效的對(duì)有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面進(jìn)行化學(xué)分解，但其粒子相對(duì)較小，斷鍵和轟擊能力有限，如加上一定比例的氬氣，那么所產(chǎn)生的等離子體對(duì)有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面的斷鍵和分解能力就會(huì)更強(qiáng)，加快清洗和活化的效率。
氬氣與氫氣混合應(yīng)用在打線和打鍵工藝中，除增加焊盤粗糙度外，還可以有效去除焊盤表面的有機(jī)污染物，同時(shí)對(duì)表面的輕微氧化進(jìn)行還原，在半導(dǎo)體封裝和SMT等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。
下圖分別為氬氣與氫氣混合產(chǎn)生的等離子體及氬氣與氧氣混合產(chǎn)生的等離子體。
以上就是氬氣等離子表面處理的功能與應(yīng)用的簡(jiǎn)單介紹，如果您想要了解更多關(guān)于等離子表面處理設(shè)備的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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