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半導(dǎo)體行業(yè)的銅支架經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理后為什么變色?普樂斯資深工程師有一些見解!

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2021-01-25 15:17【
文章導(dǎo)讀:半導(dǎo)體封裝行業(yè),包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝,通常會(huì)用到銅材質(zhì)的引線框架,為了提高鍵合和封塑的可靠性,一般會(huì)把銅支架經(jīng)過幾分鐘的等離子清洗機(jī)處理,來清除表面的有機(jī)物、污染物,增加其表面的可焊性和粘接性。
       有的時(shí)候我們會(huì)發(fā)現(xiàn),銅支架在等離子清洗機(jī)的真空環(huán)境下如果處理不當(dāng),容易出現(xiàn)表面變色和發(fā)黑,嚴(yán)重的甚至是出現(xiàn)燒板等現(xiàn)象。難道是因?yàn)榍惑w里面的空氣沒有抽干凈嗎?殘余空氣中氧分子被激發(fā),形成的氧等離子體與銅表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而形成氧化銅的結(jié)果?原因真的就這么簡(jiǎn)單嗎?普樂斯資深工程師結(jié)合多年的等離子清洗銅支架的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),與大家一起分析一下。

半導(dǎo)體銅支架

      1 等離子清洗機(jī)真空度影響銅支架清洗效果和變色
       等離子清洗機(jī)真空度關(guān)聯(lián)因素包括真空腔體漏率、背底真空、真空泵的抽速和工藝氣體的進(jìn)氣流量等。真空泵抽速越快,背底真空值越低,說明里面殘留的空氣就越少,銅支架與空氣里面的氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會(huì)就會(huì)越少;當(dāng)工藝氣體進(jìn)入,形成的等離子體可以充分地與銅支架發(fā)生反應(yīng),沒有被激發(fā)的工藝氣體可以把反應(yīng)物輕松帶走,銅支架清洗效果會(huì)好,不容易變色。
 
等離子清洗機(jī)真空泵

        2 等離子清洗機(jī)電源功率對(duì)銅支架清洗效果和變色的影響
等離子清洗機(jī)電源功率關(guān)聯(lián)因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大,等離子體能量就越高,對(duì)銅支架的表面轟擊力就越強(qiáng);同等功率的情況下,處理的銅支架越少,單位功率密度就會(huì)越大,清洗的效果就會(huì)越好,但有可能會(huì)造成能量過大,板面變色或者燒板。
 
半導(dǎo)體銅支架

       還有更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)銅支架經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后變色的內(nèi)容普樂斯將在之后文章中再與大家交流。

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    ‌環(huán)保節(jié)能‌:無需使用化學(xué)溶劑,減少?gòu)U水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

    ‌工藝可控‌:通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過程‌。


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