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普樂斯從實(shí)踐中得出半導(dǎo)體行業(yè)銅支架經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理后變色的原因

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2021-01-26 10:21【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：在昨天的文章中，普樂斯向大家介紹了半導(dǎo)體銅支架經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理后會(huì)出現(xiàn)變色和變黑的兩個(gè)因素，其實(shí)普樂斯在實(shí)踐中還得出了另外一個(gè)因素-等離子清洗機(jī)電場(chǎng)的分布對(duì)銅支架清洗效果和變色的影響。
       在昨天的文章中，普樂斯向大家介紹了半導(dǎo)體銅支架經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理后會(huì)出現(xiàn)變色和變黑的兩個(gè)因素，其實(shí)普樂斯在實(shí)踐中還得出了另外一個(gè)因素-等離子清洗機(jī)電場(chǎng)的分布對(duì)銅支架清洗效果和變色的影響。
        等離子清洗機(jī)的等離子電場(chǎng)分布關(guān)聯(lián)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和銅支架的擺放位置等相關(guān)。不同處理材料、工藝需要以及產(chǎn)能要求，對(duì)電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)是不一樣的；因此氣體流向會(huì)形成一個(gè)氣場(chǎng)，對(duì)等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)、均勻性都會(huì)有影響；銅支架的擺放位置，會(huì)影響到電場(chǎng)和氣場(chǎng)特性，導(dǎo)致能量分配不均衡，局部等離子密度過大而燒板。
 
普樂斯等離子清洗機(jī)處理半導(dǎo)體銅支架
 
        除了昨天與今天提到的幾個(gè)因素外，實(shí)踐證明了等離子清洗機(jī)的處理時(shí)間、電源頻率、包括載具類型等都會(huì)對(duì)銅支架的處理效果和變色也是有影響的。
        如此看來，等離子清洗機(jī)處理半導(dǎo)體銅支架引起變色的原因其實(shí)沒有這么簡(jiǎn)單，必須要去做深入的研究和長(zhǎng)期的實(shí)踐，平衡各種因素可能會(huì)造成的后果，有針對(duì)性的去解決這些問題。
 
普樂斯等離子清洗機(jī)處理半導(dǎo)體銅支架

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