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低壓真空等離子清洗機清洗有哪些缺點?

返回列表 來源:普樂斯 瀏覽:231 發(fā)布日期:2021-03-24 08:58【
文章導(dǎo)讀:低壓真空等離子清洗機清洗工藝已被廣泛應(yīng)用于晶圓加工、芯片封裝、傳感器、精密電子和醫(yī)療器械等領(lǐng)域,其優(yōu)點多多,例如不會改變材料表面特性和外觀,能夠?qū)Σ牧献龅綇氐浊逑?,工藝可控,沒有污水排放,對環(huán)境比較友好等等。比之于傳統(tǒng)的濕式清洗方法,無疑是比較先進(jìn)的工藝。難道這種工藝就沒有任何缺點嗎?我們說,凡事都具有兩面性,等離子清洗機清洗工藝也有其局限性,今天我們普樂斯的小伙伴就來探討一下等離子清洗機有哪些缺點。
      低壓真空等離子清洗機清洗工藝已被廣泛應(yīng)用于晶圓加工、芯片封裝、傳感器、精密電子和醫(yī)療器械等領(lǐng)域,其優(yōu)點多多,例如不會改變材料表面特性和外觀,能夠?qū)Σ牧献龅綇氐浊逑?,工藝可控,沒有污水排放,對環(huán)境比較友好等等。比之于傳統(tǒng)的濕式清洗方法,無疑是比較先進(jìn)的工藝。難道這種工藝就沒有任何缺點嗎?我們說,凡事都具有兩面性,等離子清洗機清洗工藝也有其局限性,今天我們普樂斯的小伙伴就來探討一下等離子清洗機有哪些缺點。
 
等離子清洗機
 
      眾所周知,低壓真空等離子清洗機清洗是指在低壓真空環(huán)境下,工藝氣體受到電場激勵發(fā)生碰撞而離解、激發(fā)和電離,形成由電子、離子、光子、基態(tài)原子和分子等粒子組成的具有電氣性能和化學(xué)特性的聚集體,即低溫等離子體;這些等離子體與潔凈的材料表面發(fā)生物理、化學(xué)反應(yīng),形成揮發(fā)性的物質(zhì)被氣流帶走,在改善材料表面能的同時能讓其表面變得更加干凈(超純度清洗)。請注意,3個關(guān)鍵詞:“低壓真空環(huán)境”、“工藝氣體”和“潔凈的材料表面”,我們將從這三個方面來展開,說說低壓真空等離子清洗機清洗的缺點。
 
      1 低壓真空等離子清洗機清洗必須要抽真空,并維持一定的真空度
      低氣壓狀態(tài)下,隨著真空度的提高,氣體分子之間的距離加大,更容易被電離;維持一定的真空度,對于等離子體的濃度和密度是有好處的。材料放置在真空環(huán)境中,材質(zhì)密度會影響抽真空的時間和效率;對于密度小,容易滲氣的材料抽真空時間會比較長。
 
低壓真空等離子清洗機
 
       2 低壓真空等離子清洗機清洗對工藝氣體等工藝參數(shù)的設(shè)定要求比較高
      影響低壓真空等離子清洗機清洗效果的因素比較多,不僅僅是要選擇合適的工藝氣體和氣體比例,需要設(shè)定的工藝參數(shù)考慮因素蠻多,包括處理時間、功率和真空度,離子發(fā)生器的頻率、電極結(jié)構(gòu)等等。沒有扎實的理論基礎(chǔ)和豐富的實踐經(jīng)驗,要想優(yōu)化好對應(yīng)的工藝參數(shù)顯然比較難。

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