山東大學團隊，成功研制4英寸氧化鎵，這種材料能通過等離子清洗機處理嗎？
文章導讀：近日，山東大學陶緒堂教授團隊使用導模法(EFG)成功制備了外形完整的4英寸(001)主面氧化鎵(β-Ga2O3)單晶，并對其性能進行了分析。
近日，山東大學陶緒堂教授團隊使用導模法(EFG)成功制備了外形完整的4英寸(001)主面氧化鎵(β-Ga2O3)單晶，并對其性能進行了分析。這種材料能通過等離子清洗機處理嗎？
勞厄測試衍射斑點清晰、對稱，說明晶體具有良好的單晶性，無孿晶；X射線衍射搖擺曲線顯示晶體(400)面半峰全寬僅為57.57″，結晶質(zhì)量較高；濕法化學腐蝕測試結果表明，晶體位錯密度為1.06×104 cm-2；C-V測試確認β-Ga2O3晶體中載流子濃度為7.77×1016 cm-3。測試結果表明，該團隊通過導模法獲得了高質(zhì)量的4英寸β-Ga2O3單晶。相關內(nèi)容以“4英寸氧化鎵單晶生長與性能研究”為題已在《人工晶體學報》網(wǎng)絡首發(fā)（DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20220831.001.）。該成果是繼2019年團隊獲得4英寸(100)主面單晶后的又一新突破。
此外，團隊通過優(yōu)化提拉法晶體生長工藝，在原有1英寸晶體基礎上，成功放大到2英寸，晶體外形規(guī)整、無裂紋，晶體質(zhì)量較高。晶體生長尺寸與德國IKZ及美國空軍實驗室相當，達到國際先進水平。
山東大學晶體材料國家重點實驗室在國內(nèi)最早開展導模法氧化鎵單晶生長，經(jīng)過長期潛心攻關，從零開始，先后突破了1~4英寸氧化鎵單晶生長、缺陷、摻雜、加工等關鍵核心技術。通過導模法、提拉法等多種晶體生長方法，生長出n型導電及半絕緣氧化鎵晶體并開展了系統(tǒng)的晶體加工和缺陷研究，為打破國外技術封鎖和產(chǎn)品禁運奠定了基礎。
β-Ga2O3作為超寬禁帶半導體材料，可用于制備功率器件、紫外探測器、高能射線探測器，同時也可作為GaN、ZnO等半導體的襯底材料使用。由于超高的擊穿場強和巴利加優(yōu)值，β-Ga2O3功率器件具有耐壓高、導通損耗低、開關速度快的優(yōu)點。目前，β-Ga2O3二極管及場效應晶體管器件耐壓均可達幾千伏，器件擊穿場強已超過SiC和GaN的理論極限。
由于β-Ga2O3禁帶寬度為4.8 eV，吸收截止邊位于260 nm處，紫外透過率可達80%以上，并且具有良好的化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。因此，β-Ga2O3晶體自身便滿足“日盲”光電器件的需求，避免了目前常用氮化物需要合金化等復雜問題。β-Ga2O3晶體因其卓越的材料性能，在深紫外光電探測以及超高壓功率器件方面具有重要的應用，也是最近美國等西方國家對我國實施禁運的關鍵材料。
本文來源于半導體材料與工藝，僅供分享，如有侵權請聯(lián)系管理員刪除！
昆山普樂斯電子13年專注研制等離子清洗機，等真空離子清洗機，等離子表面處理設備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設備，大氣低溫等離子表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面 設備處理的國家高新技術企業(yè)，普樂斯嚴格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量體系管理，生產(chǎn)的等離子清洗機通過歐盟CE認證，為電子、半導體封裝、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解關于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設備使用中存在疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一 服務熱線400-816-9009，普樂斯隨時恭候您的來電！
山東大學晶體材料國家重點實驗室在國內(nèi)最早開展導模法氧化鎵單晶生長，經(jīng)過長期潛心攻關，從零開始，先后突破了1~4英寸氧化鎵單晶生長、缺陷、摻雜、加工等關鍵核心技術。通過導模法、提拉法等多種晶體生長方法，生長出n型導電及半絕緣氧化鎵晶體并開展了系統(tǒng)的晶體加工和缺陷研究，為打破國外技術封鎖和產(chǎn)品禁運奠定了基礎。
由于β-Ga2O3禁帶寬度為4.8 eV，吸收截止邊位于260 nm處，紫外透過率可達80%以上，并且具有良好的化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。因此，β-Ga2O3晶體自身便滿足“日盲”光電器件的需求，避免了目前常用氮化物需要合金化等復雜問題。β-Ga2O3晶體因其卓越的材料性能，在深紫外光電探測以及超高壓功率器件方面具有重要的應用，也是最近美國等西方國家對我國實施禁運的關鍵材料。
昆山普樂斯電子13年專注研制等離子清洗機，等真空離子清洗機，等離子表面處理設備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設備，大氣低溫等離子表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面 設備處理的國家高新技術企業(yè)，普樂斯嚴格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量體系管理，生產(chǎn)的等離子清洗機通過歐盟CE認證，為電子、半導體封裝、汽車、yi療等領域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解關于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設備使用中存在疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一 服務熱線400-816-9009，普樂斯隨時恭候您的來電！
普樂斯推薦
行業(yè)資訊
- 美成熟制程芯片低價沖擊國內(nèi)市場 商務部：將依法啟動調(diào)查
- 醫(yī)療導管等離子蝕刻機介紹
- 昆山普樂斯通過高新技術企業(yè)重新認定
- 我國新能源汽車銷量蟬聯(lián)全球第一，新能源汽車促進等離子清洗機表面處理事業(yè)發(fā)展！
- 蘋果發(fā)布兩顆芯片：M2 Pro 和 M2 Max，等離子清洗機能夠應用在上面嗎？
- 2022年硬盤出貨量：大幅下跌，接近腰斬，這對等離子清洗機有什么樣影響呢？
- 博世在蘇州投資建立新能源汽車核心部件及自動駕駛研發(fā)制造基地，促進等離子清洗機行業(yè)發(fā)展！
- 2022年汽車銷量2686.4萬，新能源市場占有率達到25.6%，等離子清洗機的能夠帶來什么變化？
- 確保芯片供應充分，重塑汽車產(chǎn)業(yè)集群，等離子清洗機成為汽車領域的一員呢？
- 電子后視鏡正式在我國獲批，新的市場出現(xiàn)，等離子清洗機能夠做哪些工作呢？
蘇公網(wǎng)安備 32058302002178號
